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标准号:GB/T 33826-2017 现 行      

中文名称:玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
英文名称:Measurement of nanofilm thickness on glass substrate. Profilometric method
中标分类:Q34 ICS分类:71.040.99
标准分类编号:CN 页数:15
发布日期:2017-05-31 实施日期:2017-12-01 作废日期: - -
被替代标准: 代替标准序号:
引用标准:GB/T 29505
采用标准化:
补充修订:
标引依据:国家标准公告2017年第13号
标准摘要:本标准规定了用触针式轮廓仪法测量玻璃衬底上纳米薄膜厚度的原理、仪器要求、试验环境、要求、步骤及测试报告等。本标准适用于玻璃衬底上厚度在10 nm~1 000 nm范围内的纳米薄膜厚度测量,且薄膜与衬底之间存在或可刻蚀出台阶。其他硬质平面衬底可参考本标准执行。
 
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