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标准号:GB/T 22571-2017 现 行      

中文名称:表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
英文名称:Surface chemical analysis. X-ray photoelectron spectrometers. Calibration of energy scales
中标分类:G04 ICS分类:71.040.40
标准分类编号:CN 页数:26
发布日期:2017-09-07 实施日期:2018-01-01 作废日期:
被替代标准: 代替标准序号:GB/T 22571-2008
引用标准:ISO 18115-1
采用标准化:ISO 15472-2010,IDT
补充修订:
标引依据:国家标准公告2017年第22号
标准摘要:本标准规定了一种用于一般分析目的时校准X射线光电子能谱仪结合能标尺的方法,该谱仪使用非单色化Al或Mg X射线或单色化Al X射线。它仅适于带有溅射清洁用的离子枪的仪器。本标准还进一步规定了一种方法,用以建立校准程序、在中间某一能量值测试结合能标尺线性度、在高低结合能区各取一点确认标尺校准的不确定度、对标尺的小漂移作修正以及规定在95%置信度时该结合能标尺校准的扩展不确定度。这个不确定度包括来自实验室际研究中观察到的现象的贡献,但不涵盖所有可能发生的缺陷。本标准不适用有下述情况的仪器:结合能标尺的误差随能量明显非线性变化、工作在固定减速比模式且减速比小于10,谱仪的分辨率差于1.5eV或者要求容差极限为士0.03eV或更小。本标准不提供全标尺校准检验,该检验要对每一个在能量标尺上能找到的点加以验证,需按仪器制造商的推荐程序进行。
 
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