• 标准
  • 图书

标准详细信息

    GB/T 25915.9-2018 现 行   阅览      购买
    中文名称: 洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级
    英文名称: Cleanrooms and associated controlled environments. Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration
    中标分类: C70 ICS分类: 13.040.35
    标准分类编号: CN 页数: 25
    发布日期: 2018-06-07 实施日期: 2018-10-01
    作废日期: 被替代标准:
    代替标准序号:
    采用标准化: ISO 14644-9-2012,IDT
    引用标准: GB/T 25915.6-2010
    补充修订:
    标引依据: 国家标准公告2018年第9号
    标准摘要: GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05μm~500μm的粒子。本部分对以下事项未予考虑:1、特定工艺的洁净度及适合性要求;2、表面的清洁步骤;3、材料特性;4、涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项;5、分级和测试统计方法的选择和使用;6、粒子的其他特性,如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。

  • 联系电话:0731-89967347
    邮箱:wenxian@hnis.cn
    传真:0731-89967349
  • 主办单位:湖南省质量和标准化研究院
    www .hnbzw.com All rights Reserved.
    湘ICP备12000199号-3