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标准详细信息

    GB/T 36306-2018 现 行   阅览      购买
    中文名称: 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南
    英文名称: Cleanrooms and associated controlled environments. Guidelines for airborne chemical contamination control
    中标分类: C70 ICS分类: 13.040.35
    标准分类编号: CN 页数: 19
    发布日期: 2018-06-07 实施日期: 2018-10-01
    作废日期: 被替代标准:
    代替标准序号:
    采用标准化:
    引用标准: GB/T 25915.8-2010
    补充修订:
    标引依据: 国家标准公告2018年第9号
    标准摘要: 本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。本标准不适用于核能和军事应用。

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